真空とは?

日本工業規格では真空とは「通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間の状態」(JIS Z 8261-1)と定義されていて、さらに真空を4つの圧力範囲に分類しています。

真空の圧力範囲 名称
100kPa〜100Pa (105Pa〜102Pa) 低真空
100Pa〜0.1Pa (102Pa〜10-1Pa) 中真空
0.1Pa〜10μPa (10-1Pa〜10-5Pa) 高真空
10μPa以下 (10-5Pa以下) 超高真空

上表の圧力は絶対真空(※)を0とした時の値です。
また、JISには制定されていませんが、10-9Pa以下の真空を極高真空といい、学術用語としては定着しています。

※絶対真空とは空間中に分子が一つも無い完全な真空状態をいいます。

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ベーシックモデルKCPH

インバータモデルKCE

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オイルフリーブロワポンプ

ベーシックモデルKCP

インバータモデルKCE

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