真空ポンプの種類
真空ポンプにはドライポンプ、油回転ポンプ、水封式ポンプ、エジェクタなど様々な種類があります。
その中でドライポンプはポンプ内部の気体移送経路に油や封液などを使用していないポンプで、ベーンポンプ、ルーツポンプ、スクリューポンプなどの方式があります。
| 容積移送式 | 回転式 | ベーンポンプ |
| クローポンプ | ||
| 多段ルーツポンプ | ||
| スクロールポンプ | ||
| スクリューポンプ | ||
| 往復動式 | ダイヤフラムポンプ | |
| ピストンポンプ | ||
| ベローズポンプ | ||
| 運動量輸送式 | 機械式 | サイドチャネルブロア |
| ターボ真空ポンプ |
【ベーンポンプ】
ベーンと呼ばれるカーボン製のブレード(板状の羽根)が遠心力で飛び出すことによって空気を掻きだす方式のポンプ
【クローポンプ】
それぞれ爪状の突起を持つ一対のクロー形ロータを非接触で互いに反対方向に等速度で回転させ、吸引気体を圧縮して排気するポンプ
【多段ルーツポンプ】
非接触で互いに逆方向に等速度で回転する一対のまゆ形断面のロータを直列に配置して多段化したポンプ
【スクロールポンプ】
同一の渦巻形の壁を持った固定スクロールと旋回スクロールからなるポンプ
【スクリューポンプ】
一対のスクリュー形ロータを非接触で互いに反対方向に等速度で回転させて吸引気体を圧縮して排気する単段式ポンプ
オイルフリー真空ポンプ
ベーシックモデルKCP
ベーシックモデルKCPH
インバータモデルKCE
モジュールマルチモデルKCM620
モジュールマルチモデルKCM310
サイドチャネル KCPL
オイルフリーブロワポンプ
ベーシックモデルKCP
高圧力ベーシックモデルKCP-BH
インバータモデルKCE
オイルフリーコンビネーションポンプ
コンビネーションポンプ(2ポンプ)
コンビネーションポンプ(1ポンプ)
バキュームフィルターシステム
吸気フィルター VF
スピンフィルター VSF
水蒸気セパレータ VSS
リキッドセパレータ VLS
オートリキッドセパレータ KLSA
オイルミストフィルター VMF
サイクロンセパレータ VCS
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